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MICROBRIDGE TESTING OF YOUNG'S MODULUS AND RESIDUAL STRESS OF NICKEL FILM ELECTROPLATED ON SILICON W
Microbridge testing is used to measure the Young's modulus and residual stresses of metallic films. Nickel film micr......
测试的 Microbridge 被用来测量幼仔的模量和金属性的电影的剩余应力。独立 NiFe 的样品拍摄微桥牌被制作 bymicroelectromechanic......
本文推导了表征多层结构微桥试验挠度-载荷关系的特征参数。通过MEMS(微机电系统)技术制备了包含亚微米厚度NiFe和Cu薄膜的5层和8层......
提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹......