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光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一.该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法,即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息,通过计算衍射±1级光斑与主极大光斑的能量比得出光栅常数.这种方法具有检测速度快、系统简单、精度高等特点,可用于生产线上光栅的实时检测.
一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法
【摘 要】
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光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一.该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法,即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息,通过计算衍射±1级光斑与主极大光斑的能量比得出光
【机 构】
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华中科技大学光电系
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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科技部科技型中小企业技术创新项目
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