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采用化学溶液沉积法在p-Si（100）衬底上制备了LaNiO3（LNO）下电极和Bi3.25La0.75Ti3O12（BLT）铁电薄膜,分别用X-射线衍射、原子力显微镜、扫描电镜和铁电测试仪对样品的微结构和铁电性质进行了系统分析。结果表明,低热解温度下制备的LNO薄膜具有（110）择优取向、小的颗粒尺寸和大的电阻率;而高热解温度下制备的LNO薄膜具有（100）择优取向、大的颗粒尺寸和小的电阻率。与以往报道不同,c轴择优取向度大的BLT薄膜显现出更大的剩余极化强度和更小的漏电流,具有更优越的铁电性质。