【摘 要】
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为了提高大功率磁控管的输出功率,延长其使用寿命,采用难熔稀土氧化钆和过渡金属氧化铪制备大功率磁控管用新型直热式稀土铪酸钆陶瓷阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性
【机 构】
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九江学院电子工程学院,中国科学院空天信息创新研究院,西安电子科技大学物理与光电工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.61771454),江西省自然科学基金(No.20192BAB217001),江西省教育厅科技项目(No.180912),江西省卫生厅科技项目(No.20195631),江西省数控技术与应用实验室项目(No.8412409)
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为了提高大功率磁控管的输出功率,延长其使用寿命,采用难熔稀土氧化钆和过渡金属氧化铪制备大功率磁控管用新型直热式稀土铪酸钆陶瓷阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试,热发射测试结果显示该阴极在1300℃br即可提供0.1A/cm2发射电流密度,1600℃br下可提供超过1.93A/cm2的发射电流密度.寿命实验结果显示,该阴极在1500℃br,直流负载为0.5A/cm2的条件下,寿命已经超过4000h.最后,利用X射线衍射仪、扫描电镜、能谱分析仪、氩离子深度刻蚀俄歇电镜等设备分别对该阴极活性物质
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