【摘 要】
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讨论了对TiNi／Ti／SiO2／Si基板在HF＋CuSO4中采用分离双电极方法的化学酸性镀铜。Si基板和TiNUTi／SiO2／Si基板分别作为化学镀的阳极和阴极，在开路条件下进行化学镀。最佳化学镀反应条
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讨论了对TiNi／Ti／SiO2／Si基板在HF＋CuSO4中采用分离双电极方法的化学酸性镀铜。Si基板和TiNUTi／SiO2／Si基板分别作为化学镀的阳极和阴极，在开路条件下进行化学镀。最佳化学镀反应条件为电极相距0．5mm，[HF]和[CuSO4]大于8％（质量分数）和0．045mol／L。最后得到覆盖率高、晶粒大小均一、结构致密、具有〈111〉择优取向的Cu膜，且Cu膜中不含Cu2O，降低了电阻率。
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