用正电子湮没方法鉴别InP半导体中的缺陷

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本文测量了各种InP样品中的正电子寿命谱,用正电子湮没率连续分布测量(CON-TIN分析)结合PATFIT分析正电子寿命谱,肯定了在n型和半绝缘型InP中有In空位VIn和P空位VP,而在p型InP中只观察到In空位VIn.正电子寿命的温度关系表明所观察到的n型和半绝缘型中的VIn和VP以及p型InP中的VIn均为电中性.改进了常规的多普勒展宽谱仪.利用这一谱仪测量了n型及半绝缘型InP的多普勒展宽谱,结合正电子寿命测量结果,观察到在掺Fe的半绝缘型InP中存在VP-Fe络合物 In this paper, positron lifetime spectra of various InP samples were measured. Positron annihilation continuous distribution measurement (CON-TIN analysis) combined with PATFIT analysis of positron lifetime spectra confirmed the existence of In vacancies in n-type and semi-insulating InP VIn and P vacancy VP, whereas only In vacancy VIn is observed in p-type InP. The temperature dependence of positron lifetime indicates that both observed VIn and VP in n-type and semi-insulating types and VIn in p-type InP are electrically neutral. Improved conventional Doppler broadening spectrometer. Doppler broadening spectra of n-type and semi-insulating InP were measured by this spectrometer. Combined with the results of positron lifetime measurements, the presence of VP-Fe complex in Fe-doped semi-insulating InP
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