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高纯半绝缘4H-SiC单晶研究进展
高纯半绝缘4H-SiC单晶研究进展
来源 :科技创新与生产力 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oliu1113
【摘 要】
:
阐述了高纯半绝缘4H-SiC单晶的研究历史,展望了未来高纯半绝缘4H-SiC衬底制备方法及SiC市场的发展方向,分别讨论了籽晶、生长压强和温度场分布3种因素对于SiC单晶生长的影响,
【作 者】
:
范云
【机 构】
:
中国电子科技集团第二研究所
【出 处】
:
科技创新与生产力
【发表日期】
:
2019年5期
【关键词】
:
半导体材料
高纯半绝缘
4H-SiC单晶
单晶生长
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阐述了高纯半绝缘4H-SiC单晶的研究历史,展望了未来高纯半绝缘4H-SiC衬底制备方法及SiC市场的发展方向,分别讨论了籽晶、生长压强和温度场分布3种因素对于SiC单晶生长的影响,并提出了改进方法。
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