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利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 ,最后给出了本实验室研制的压电陶瓷行波微马达的运动机理
压电微马达研究进展
【摘 要】
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利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2002年02期
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