【摘 要】
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利用半导体仿真工具Silvaco对p-i-n InP/In_（0.53）Ga_（0.47）As/InP近红外光探测器进行优化仿真.参考实际器件对红外探测器进行建模,并将其暗电流、光谱响应仿真结果与实验结果进
【机 构】
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苏州大学电子信息学院,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料和器件重点实验室
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利用半导体仿真工具Silvaco对p-i-n InP/In_（0.53）Ga_（0.47）As/InP近红外光探测器进行优化仿真.参考实际器件对红外探测器进行建模,并将其暗电流、光谱响应仿真结果与实验结果进行拟合,保证仿真结果的有效性.以减小探测器的暗电流为目的,优化其结构.针对探测器吸收层厚度和吸收层掺杂浓度对暗电流、光响应的影响进行研究,发现当吸收层厚度大于0.3μm后,暗电流不再上升,但光响应随着吸收层厚度的增加而增大;当吸收层掺杂浓度不断上升时,器件暗电流不断降低,当掺杂浓度上升到2×1
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