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研究了钢中硅系夹杂物的颗粒尺寸测定的原位统计分布新方法。结合定量金相和扫描电镜多种物理分析手段，探讨了原位火花光谱中元素硅的异常光谱信号与硅夹杂物的颗粒数量、尺寸之间的相关性，发现钢中单位面积内尺寸大于3μm的夹杂物颗粒个数对异常火花相对频数影响较大，异常平均强度占总体平均强度的比例也与大于3μm的硅系夹杂物的平均粒径密切相关，由此建立了相应的数学模型来计算钢中较大颗粒硅系夹杂物的数量、平均粒径和最大平均粒径。将方法应用于多种钢样品中硅系夹杂物颗粒的状态分析，所得结果与定量金相分析结果具有良好的对应关系。