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由于微粒污染对高纯气体的重要影响,本文从系统设计、材料选择、配管技术等方面介绍了控制微粒污染的方法。
高纯气体输送管路的防污染措施
【摘 要】
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由于微粒污染对高纯气体的重要影响,本文从系统设计、材料选择、配管技术等方面介绍了控制微粒污染的方法。
【机 构】
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中国电子系统工程第二建设有限公司
【出 处】
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安装
【发表日期】
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2006年02期
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