【摘 要】
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目的比较分析CrN过渡层与不同膜厚对DLC薄膜性能的影响,以及涂层模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金试样及模具表面沉积CrN/DLC复合膜,预设CrN过渡层厚度为0.2μm,D
【机 构】
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上海应用技术大学表面工程研究所,上海应用技术大学工程创新学院
【基金项目】
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上海市重点支撑计划(170905038000)~~
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目的比较分析CrN过渡层与不同膜厚对DLC薄膜性能的影响,以及涂层模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金试样及模具表面沉积CrN/DLC复合膜,预设CrN过渡层厚度为0.2μm,DLC膜层厚度为0.5~1.2μm。采用无损设备对不同沉积时间(10、15、20、25、30、35min)的薄膜厚度进行表征,并使用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面及截面结构特征。采用拉曼光谱(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例关系,用纳米压痕仪表征膜层硬度,用硬度计分析膜/
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