TiN栅薄膜全耗尽SOI CMOS器件

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：game00vergoo

【摘要】

：

制备并研究了TiN栅薄膜全耗尽SOI CMOS器件，并对其关键工艺进行了详细阐述．相对于双多晶硅栅器件，在不改变阈值电压的前提下，可以减小nMOS和pMOS的沟道掺杂浓度，进而提高迁移率．由

【作者】

：

连军海潮和

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

FDSOI CMOS 中间禁带功函数 TIN FDSOI CMOS mid-gap workfunction TiN

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

制备并研究了TiN栅薄膜全耗尽SOI CMOS器件，并对其关键工艺进行了详细阐述．相对于双多晶硅栅器件，在不改变阈值电压的前提下，可以减小nMOS和pMOS的沟道掺杂浓度，进而提高迁移率．由于TiN的功函数处于中间禁带，在几乎相同的调整阈值注入剂量下，可以得到对称的阈值电压．当顶层硅膜厚度减小时，可以改善短沟道效应．

其他文献

高职院校专业课信息化教学设计研究与实践

运用现代化信息技术手段辅助高职院校专业课教学，对学生学习积极性的提高，学生职业核心能力的培养具有重要的影响，是当前高职院校专业课程开发的一种重要设计理念。文章在阐述信

期刊

高职院校信息化教学教学设计研究

脱水植物组织培养基的制备

脱水培养基可以在很大程度上简化植物组织培养基的配制工艺，但由于一般植物组培培养成分之间可能相互反应，不同组分的含量相差很大导致难以混合均匀等因素的制约，脱水植物组织培

期刊

植物组织培养脱水培养基制备planttissueculturedrymediumpreparation

吉利汽车实行价格新政

4月16日，吉利汽车推出价格新政：吉利大幅调整在销产品价格，降价幅度在2000-5000元间。吉利旗下的三厢三缸产品优利欧温馨版1．0L、三厢四缸产品优利欧幸福版1．3L，突破3．5万、4．5万大关

期刊

产品价格吉利汽车降价幅度低价格小排量同类市场黄金

浅谈初中科学课堂教学互动教学的重要性

师生互动不仅是教学情境下的教师和学生之间相互交流、作用、影响，在社会情景下同样有这种行为。本文主要介绍课堂上教师和学生相互影响、相互交流的行为，课堂上师生互动直接影

期刊

初中科学互动教学重要性

浅谈环境保护中信息化监控的应用

大气环境是我们赖以生存的必须条件,为了实现我国的可持续发展的战略目标,要增加对环境保护工作的重视,加大环境监控的力度,为保护环境提出更多有效措施。随着信息时代的到来

期刊

环境保护信息化监控监控应用

Added Mass Effect and an Extended Unsteady Blade Element Model of Insect Hovering

期刊

质量效应昆虫飞行元模型非定常附加质量力悬停叶片AMEadded mass wake capture insect flight simpl

智能电度表系统的研制

介绍了一种新型智能电度表系统的结构和功能及智能电度表本体的硬件和软件与抄表编程器的组成和结构，该系统可实现电能多参数，多功能管理，并通过抄表微机与系统机联网运行，实现了

期刊

智能电度表数据处理光电接口电度表系统intellectual faculties kilowatthour meterdata handlingp

镁与NaHCO3溶液反应有关产物探究

在NaHCO3水溶液中存在多个平衡,且每个平衡之间既相互联系、又相互制约。镁与NaHCO3溶液反应有气体(H2和少量的CO2)及沉淀(3MgCO3·Mg(OH)2·3H2O)产生,本文就反应产

期刊

气体沉淀产物平衡移动

关于建筑装饰与建筑设计关系的思考

建筑装饰、建筑设计两者之间存在着一定的差异,又有着非常密切的联系,把建筑装饰、建筑设计合理的融入到一起,可以将鲜明的建筑主题完美的呈现出来,建筑装饰可以起到调整建

期刊

建筑装饰建筑设计关系

浅谈儒家思想对高校思想政治教育的启示

儒家教育思想的核心和重点是道德教育和爱国主义教育,儒家思想中的诸多思想与观念对当今社会高校中思想政治教育的方法、内容的选择与完善都具有重要的启示意义。本文从儒家

期刊

儒家思想高校思想政治教育启示意义

TiN栅薄膜全耗尽SOI CMOS器件

与本文相关的学术论文