【摘 要】
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利用X射线光电子谱仪(XPS)对MoS2溅射膜掺杂Sb2O3/Au的抗氧化性能进行了研究。结果表明,Sb2O3/Au使得MoS2溅射膜的结构9变得更为致密,同时还改变了MoSx的化学计量配比,增强了MoS2溅射膜的抗
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利用X射线光电子谱仪(XPS)对MoS2溅射膜掺杂Sb2O3/Au的抗氧化性能进行了研究。结果表明,Sb2O3/Au使得MoS2溅射膜的结构9变得更为致密,同时还改变了MoSx的化学计量配比,增强了MoS2溅射膜的抗氧化性能,通过掺杂的MoS2溅射膜的初始氧化以及在潮湿环境中的氧化只发生在膜表面的2~3个分子层,使得内层被保护得相当好,掺杂是解决MoS2溅射膜气氧化问题的一种行之有效的方法。
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