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ＲＥＳＥＡＲＣＨＯＮＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＡＮＤＳＹＳＴＥＭＦＯＲＯＮ－ＬＩＮＥＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＯＦＳＵＲＦＡＣＥＲＯＵＧＨＮＥＳＳＩＮＵＬＴＲＡ－ＰＲＥＣＩＳＩＯＮＭＡＣＨＩＮＩＮＧＬｕＨａｉｂａｏ；ＷａｎｇＹａｏｋｅ；ＺｈｕＪｉｇｕｉ；Ｚｈｏ...
RESEARCH ON TECHNOLOGY AND SYSTEM FOR ON－LINE MEASUREMENT OF SURFACE ROUGHNESS IN ULTRA＝
【摘 要】
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ＲＥＳＥＡＲＣＨＯＮＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＡＮＤＳＹＳＴＥＭＦＯＲＯＮ－ＬＩＮＥＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＯＦＳＵＲＦＡＣＥＲＯＵＧＨＮＥＳＳＩＮＵＬＴＲＡ－ＰＲＥＣＩＳＩＯＮＭＡＣＨＩＮＩＮＧＬｕＨａｉｂａｏ；ＷａｎｇＹａｏｋｅ；ＺｈｕＪｉｇｕｉ；Ｚｈｏ...
【机 构】
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DepartmentofMechantronicsandInstrumentation
【出 处】
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国防科技大学学报
【发表日期】
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1995年3期
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