【摘 要】
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首先分析了热沉调温系统的主要影响因素,包括:热沉结构、热沉的分区,热负荷的大小及其分布和气氮质量流量等。在采用胀板式热沉结构前提下,重点研究气氮质量流量对热沉热性能
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首先分析了热沉调温系统的主要影响因素,包括:热沉结构、热沉的分区,热负荷的大小及其分布和气氮质量流量等。在采用胀板式热沉结构前提下,重点研究气氮质量流量对热沉热性能指标的影响。通过相关计算和软件仿真,表明热沉进出口温差随气氮质量流量的增大而降低,热沉壁面的温度均匀度提高。并通过系统调试实现了热沉在-120℃—120℃范围内连续可调,热沉温度均匀性<6℃,控温精度在±0. 3℃以内的良好效果。
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