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现有下料翻转机构造成的碎片和返工片较多,影响设备稳定性。通过分析翻转机构,优化了翻转杆结构,确定了翻转杆的精确尺寸。优化后的翻转机构相对于未优化前,硅片返工率有了大幅度的降低,节约了企业成本,提高了设备产能以及设备稳定性,为后续设备的运用提供了良好的借鉴。
刻蚀下料翻转机构的改进与优化设计
【摘 要】
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现有下料翻转机构造成的碎片和返工片较多,影响设备稳定性。通过分析翻转机构,优化了翻转杆结构,确定了翻转杆的精确尺寸。优化后的翻转机构相对于未优化前,硅片返工率有了大
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2019年6期
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