【摘 要】
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声表面波（SAW）谐振器作为各类SAW器件的核心元件，其性能决定SAW器件的各项指标，其中以谐振器品质因数（Q）值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素，指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构，且异质声学层结构本质为一维声子晶体。结果表明，通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束，以提升谐振器Q值，最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构。
【基金项目】
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西南科技大学科研基金资助项目（20zx7114）； 重点实验室预研基金资助项目（6142105200203、61428060303）； 气动噪声控制重点实验室开放课题基金资助项目（ANCL20200304）；
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声表面波（SAW）谐振器作为各类SAW器件的核心元件，其性能决定SAW器件的各项指标，其中以谐振器品质因数（Q）值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素，指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构，且异质声学层结构本质为一维声子晶体。结果表明，通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束，以提升谐振器Q值，最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构。
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