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作为手机、笔记本、台式机的主流显示设备.薄膜晶体管(TFT)发挥着重要的作用。目前,企业多采用非晶硅(a—Si)和低温多晶硅(LTPS)以提升TFT半导体的性能.但在性能和尺寸方面仍受到较多限制。金属氧化物作为半导体材料可有效提升平板显示器的迁移率.满足高解析度平板显示器的要求(〉10cm2/Vs)。与硅半导体T门相比.金属氧化物半导体具有能耗低、待机时间长、加工和使用便捷等优点。