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氧化钽感湿薄膜的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：alimamaai

【摘 要】

：

在Ar-O₂混合气氛中采用直流磁控反应溅射沉积制得了氧化钽薄膜.文章介绍了沉积薄膜的实验装置与工艺,叙述了反应溅射的过程与机理.用AES、XPS和X射线衍射研究了薄

【作 者】

：

陈国平 李玲珍 张随新 张浩康 

【机 构】

：

东南大学,东南大学

【出 处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

1990年1期

【关键词】

：

氧化钽薄膜 湿敏器件 反应溅射 Tantalum oxide thin film humidity sensitive device reactive sput 

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在Ar-O₂混合气氛中采用直流磁控反应溅射沉积制得了氧化钽薄膜.文章介绍了沉积薄膜的实验装置与工艺,叙述了反应溅射的过程与机理.用AES、XPS和X射线衍射研究了薄膜的成分与结晶结构,用Ta₂O₅薄膜研制成Si-MOS薄膜湿敏器件.测试结果表明:这种新的湿敏器件具有高的灵敏度和非常快的响应速度.

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