【摘 要】
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Zr-Si-N films were deposited by RF magnetron sputtering (MS) technique. A Cu film on the top of Zr-Si-N films was prepared by DC pulsed magnetron sputtering. Th
【机 构】
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KeyLabforPhysicalElectronicsandDevicesMinistryofEducation,State-KeyLaboratoryforMechanicalBehaviorof
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Zr-Si-N films were deposited by RF magnetron sputtering (MS) technique. A Cu film on the top of Zr-Si-N films was prepared by DC pulsed magnetron sputtering. The Cu/Zr-Si-N systems were annealed in vacuum and N2/H2 gas mixture at 800℃, respectively. The s
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