【摘 要】
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多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.利用矩阵法,根据菲涅耳公式和电磁场边界条件,推导出p,s波的相移.通过优化设计,入射角为54°,在1285
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术中心,上海,201800中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术中心,上海,201800;
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多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.利用矩阵法,根据菲涅耳公式和电磁场边界条件,推导出p,s波的相移.通过优化设计,入射角为54°,在1285～1345 nm之间p,s波获得了270°±1°的相移,同时也使反射率在99.5%以上.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性,在相应波段获得了262.4°±1.8°的相移,同时也使反射率在99.6%以上.误差的主要来源是离子源工作特性会产生不均匀的过渡层和最外层会吸收一些水气、灰尘等也产生表面过渡层.由误差分析得出了制备过渡层的物理厚度和折射率的变化情况,最外层的厚度误差和折射率偏差是发生相移偏小的主要因素.
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