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研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极一锆/钨（ZrO/W）阴极。这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面，采用特别的涂覆法或蒸镀法，形成含zrO膜层，并经特殊处理后得到的。实验测出了这种阴极在适当条件下的功函数值为2.86电子伏特左右，低于钨阴极的功函数值。
ZrO／W肖特发射阴极的研制
【摘 要】
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研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极一锆/钨（ZrO/W）阴极。这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面，采用特别的涂覆法或蒸镀法，形成含zrO膜层，并经特殊处理后得
【机 构】
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云南大学物理系,云南大学实验室管理处
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (10 16 4 0 0 4 )
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