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点火电路是MEMS固体化学微推进器中最重要的组成部分，其点火电压的大小及点火可靠性则主要取决于点火电阻．国内外均采用多晶硅（polysilicon）或贵金属铂（Pt）作为点火电阻材料，所制备出来的点火电阻的阻值都比较大，需要的点火电压较高（40V以上），而且点火可靠性不高，难以满足固体微推进器的使用要求．本文首次采用金属铬（Cr）作为点火电阻材料，设计了具有高可靠性的并联点火电阻图形，通过磁控溅射镀膜、光刻以及Cr的湿法腐蚀工艺制备出了Cr薄膜点火电阻，并在20伏左右的低电压下成功地实现了常规火药黑索金的