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透明导电氧化物（TCO）金属导电性良好，可见光透过率较高，广泛应用于薄膜太阳能电池，OLED，LCDs，以及各种汽车应用（如防冻低热导率涂层、光控隐私玻璃等）。目前In2O3基薄膜的研究最为成熟，然而因为In材料稀有昂贵，越来越多的人转而研究ZnO基薄膜。本文报告ZnO基薄膜的研究现状。
ZnO基透明导电薄膜的生长技术
【摘 要】
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透明导电氧化物（TCO）金属导电性良好，可见光透过率较高，广泛应用于薄膜太阳能电池，OLED，LCDs，以及各种汽车应用（如防冻低热导率涂层、光控隐私玻璃等）。目前In2O3基薄膜的研究最为成熟
【机 构】
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山东师范大学,山东电子职业技术学院
【出 处】
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价值工程
【发表日期】
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2013年13期
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