一种新的真空校准装置

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真空开关管真空度测量仪的校准问题,一直是个难点。传统的作法是:用真空度测量仪测得带电离计的真空开关管相对应真空度的电压读数,从而得到真空度与放电电流在负载上产生的电压的关系曲线——真空度校准曲线。这种校准方法不仅准确性很差,校准范围窄,而且由于校准样管无标准,很难制作,甚至使校准工作无法进行。 Vacuum switch vacuum meter calibration problem has been a difficult task. The traditional method is to measure the voltage reading of the vacuum switch with the ionization gauge by the vacuum gauge, and obtain the curve of the vacuum degree and the curve of the vacuum degree, which is the relationship between the vacuum degree and the voltage generated by the discharge current on the load. This calibration method is not only poor accuracy, narrow calibration range, but also because the standard calibration of the standard tube, it is difficult to make, even the calibration can not be carried out.
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