【摘 要】
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室温下用磁控溅射法在Si（111）村底上生成Au／SiO2复合纳米颗粒膜。用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射方法（XRD）对不同温度退火后的Au／SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征。SE
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所
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室温下用磁控溅射法在Si（111）村底上生成Au／SiO2复合纳米颗粒膜。用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射方法（XRD）对不同温度退火后的Au／SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征。SEM结果表明，随着退火温度升高，Au纳米颗粒先形成大的聚集后出现分布均匀的超微颗粒。XRD结果显示700℃时Au的衍射峰最强，随后峰强有所减弱，这与SEM检测结果相吻合。另外实验结果证实在1000℃退火时自组装生成空间分布均匀（直径约为70nm）的Au纳米点，可以用来作为生长一维纳米材料的模板。
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