【摘 要】
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利用有限元分析方法，借助ANSYS软件，对SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟，探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下，宽长比对理论输出的影响，以及应变膜厚度
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利用有限元分析方法，借助ANSYS软件，对SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟，探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下，宽长比对理论输出的影响，以及应变膜厚度对理论输出的影响，给出了设计应变膜的优化方案；并对根据模拟结果首次制作的SOI单晶硅压力传感器进行了测量，结果与理论值符合得较好。
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