氧分压对电弧源制备TiO2薄膜光学性能和表面形貌的影响

来源 :西安工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cdronglin

【摘要】

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为了寻求更加有效的方法和途径来制备高质量的光学薄膜,以直流磁过滤电弧源（УВНИПА？1-001型等离子体镀膜机）技术作为制备方法镀制TiO2光学薄膜,通过在不同氧分压的条件下

【作者】

：

弥谦李刘晨惠迎雪徐均琪

【机构】

：

西安工业大学光电工程学院

【出处】

：

西安工业大学学报

【发表日期】

：

2012年6期

【关键词】

：

电弧离子镀(AIP) TIO2薄膜折射率消光系数 arc ion plating（AIP） TiO2 thin film refractive index

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为了寻求更加有效的方法和途径来制备高质量的光学薄膜,以直流磁过滤电弧源（УВНИПА？1-001型等离子体镀膜机）技术作为制备方法镀制TiO2光学薄膜,通过在不同氧分压的条件下制备TiO2光学薄膜.利用椭圆偏振光谱仪研究TiO2薄膜的光学性能,TayloyHobson轮廓仪研究TiO2薄膜的厚度和表面形貌.研究结果表明：制备出的TiO2薄膜随着氧分压的不断提高,在400～1 000nm的波长范围内折射率变化较大,在1 000～1 600nm的波长范围内折射率变化较为平稳;其消光系数在10-3数量级上;Ti

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