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波谱仪无谱峰故障的维修
波谱仪无谱峰故障的维修
来源 :2006年全国电子显微学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:E200902027
【摘 要】
:
本文针对S360型SEM附带的WDX-3PC型WDS其谱图中无任何特征谱峰故障现象进行分析和讨论,并找出故障的成因。
【作 者】
:
许宏飞
王存龙
陈海潮
周鸿斌
【机 构】
:
中国兵器工业第五二研究所,山东,烟台,264003
【出 处】
:
2006年全国电子显微学会议
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
波谱仪
无谱峰故障
故障维修
故障成因
排除法
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本文针对S360型SEM附带的WDX-3PC型WDS其谱图中无任何特征谱峰故障现象进行分析和讨论,并找出故障的成因。
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