【摘 要】
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采用等温气相外延方法（Isothermal Vapor Phase Epitaxy,ISOVPE）在CdZnTe衬底上生长出碲镉汞外延材料。在此基础上研制出在近室温条件下工作、具有集成浸没透镜结构的碲镉汞光
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验,中国科学院大学
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采用等温气相外延方法（Isothermal Vapor Phase Epitaxy,ISOVPE）在CdZnTe衬底上生长出碲镉汞外延材料。在此基础上研制出在近室温条件下工作、具有集成浸没透镜结构的碲镉汞光伏器件，器件的212作波段为2．5μm-3．2μm。由于采用ISOVPE工艺生长的碲镉汞外延材料的组分梯度较大，文中采用多次湿法腐蚀透射光谱测试的方法对材料的截止波长进行较精确的定位。在CdZnTe衬底上采用单点金刚石工艺得到直径为1．5mm的超半球结构集成浸没透镜，然后利用激光诱导电流（LBIC）测试
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