论文部分内容阅读
采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明，化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
二氯二氢硅终端纯化器的研制
【摘 要】
：
采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明，化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
【机 构】
：
化学工业部光明化工研究所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1996年6期
其他文献
介绍了钢筋连接的基本方法,论述了钢筋焊接施工过程的质量控制,探讨了先进的钢筋连接技术。
作·为今年上半年，徐州整个黄金珠宝行业销售额和去年同期相比下降了20％到30％。去年4月是抢金大潮，而今年4月则经营惨淡。去年我已经预计到这是一种透支消费，因此对现在的市场
类比是一种重要的数学思想方法，类比推理对揭示数学知识之间的内在联系，启迪解题思路等方面，都有着独特的作用，我们在教学中要注重类比思想的应用，促进学生对所学知识的理解，激发学
对传统的访问控制方法与基于角色的访问控制方法进行了比较。针对教学质量监控系统的安全问题,提出了教学质量监控系统中基于角色的访问控制技术的安全应用模型,使用角色定义
华法林是目前广泛应用的口服抗凝药,为维生素K拮抗剂。华法林用药的个体差异很大。遗传、饮食、药物、疾病的状态等均对华法林抗凝有影响。在众多影响因素中,各因素的影响因
丹东是我国最大的边境滨海城市，拥有丰富的宝玉石资源。丹东初步探出宝石有15种，而有8种，经过琢磨、雕刻后，可以成为首饰或工艺品的材料，在国内外享有很高的声誉。
结合软土地基处理工程实践经验,介绍了目前比较常用的几种处理软弱地基的方法,包括排淤或换土垫层法、重锤夯实法、振冲法和高压旋转法。