质量工具在晶圆产品研发阶段的应用

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在集成电路制造企业,大部分质量工具主要应用在量产制造过程,而不是研发阶段.项目小组通过项目管理方法,分析多种质量工具及其适用性,整合应用在晶圆产品研发阶段,有理论和实践意义.
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