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在集成电路制造企业,大部分质量工具主要应用在量产制造过程,而不是研发阶段.项目小组通过项目管理方法,分析多种质量工具及其适用性,整合应用在晶圆产品研发阶段,有理论和实践意义.
质量工具在晶圆产品研发阶段的应用
【摘 要】
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在集成电路制造企业,大部分质量工具主要应用在量产制造过程,而不是研发阶段.项目小组通过项目管理方法,分析多种质量工具及其适用性,整合应用在晶圆产品研发阶段,有理论和实
【机 构】
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上海华力微电子有限公司 上海 201203
【出 处】
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商品与质量
【发表日期】
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2018年36期
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