【摘 要】
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O484.5 98042588用Raman光谱分析MBE生长Ge<sub>x</sub>Si<sub>1-x</sub>膜的组分及应变=Raman spectral analysis on composition andstrain of Ge<sub>x</sub>Si<sub>1-x</sub> films grown by MBE[刊,中]/陈培毅,王瑞忠,杨景铭,钱佩信（清华大学微电子学研究所.北京（1
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