【摘 要】
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用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)设备生长了AlGaInAs压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试，通过二次离子质谱仪(SIMS)的测试讨论了材料中氧含量
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用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)设备生长了AlGaInAs压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试，通过二次离子质谱仪(SIMS)的测试讨论了材料中氧含量对材料特性的影响，通过采用高纯原料和纯化载气，生长出了较高质量的AlGaInAs应变量子阱材料：氧含量小，光荧光强度大(25mW，PL=0.3)，光荧光谱线窄(FWHM=31meV)。
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