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本文研究室温下工作，具有双敏感膜，检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET（Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor即HSGFET）型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果，发现具有［KI/A/LaF3］结构的传感器对O3有很好的响应特性；实验结果与由开尔芬（Kelvin）探针得到的结果进行了比较.