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离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜

来源 :常州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yux444

【摘 要】

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利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5％ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35

【作 者】

：

陈强 张春渤 谢建生 

【机 构】

：

常州大学数理学院

【出 处】

：

常州大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2014年1期

【关键词】

：

Li掺杂 离子束增强沉积 退火 Li doped Ion beam enhanced deposition annealed 

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利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5％ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35min,薄膜表现为p型导电,薄膜的最低电阻率为35.03Ω·cm,制备的薄膜在可见光范围内的平均透过率在80％以上,p型LZO薄膜禁带宽度小于本征ZnO(3.37eV).

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