论文部分内容阅读
本文描述在CORNING7059玻璃衬底上用磁挖射频溅射法制备Nb/AlOx/Nb约瑟夫森结的质量和工艺条件的相关规律。由X荧光测量和扫描电镜观测,分别研究膜的Ar浓度CAr与偏压Vb的关系和膜的表面形貌与结构。并对Vb和气体压力PAr对膜应力和结构的影响作探讨.对Nb/AlOx/Nb约瑟夫森的介面及各种氧化参数的影响研究发现:膜的厚度、氧化温度、层序、薄的自然氧层的存在等因素对介面的质量有大的影响。通过对体现结特性的阳极氧化电压谱图的测量比较,我们确认介面的陡度与结的质量相关,即与超导特性相关。AlOx