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本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原理和关键技术,利用该源镀制的类金钢石薄膜及镍铬铁合金渐变膜的性能指标.
脉冲电弧蒸发源的研究
【摘 要】
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本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原理和关键技术,利用该源镀制的类金钢石薄膜及镍铬铁合金渐变膜的性能指标.
【机 构】
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西安工业学院(西安)
【出 处】
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中国真空学会薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2003年9期
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