半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析

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 将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresource orientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析. The resource-oriented colored and timed Petri nets (CTROPN) are used in the modeling of automatic assembly in the semiconductor manufacturing industry.CTROPN has a strong modeling ability to accurately describe the machining process of the automatic assembly device, Model, a detailed analysis of the initial characteristics, steady-state characteristics and end characteristics of non-reentrant processing.
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