将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresource orientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN......

半导体制造中的自动组合装置是半导体制造的关键设备和瓶颈设备。对其性能进行量化的直观的分析对于半导体制造的效率和成本预测具......

利用面向资源的着色赋时Petri网,对半导体业中自动组合装置的可重入加工过程进行了建模,描述了具体的加工过程,同时从定性和定量的......

针对难以用解析法验证半导体加工装置的调度可行性问题，提出仿真建模研究的新方法。利用仿真软件eM-Plant建立晶圆制造中单臂自动组......

在半导体组合设备的晶圆加工过程中，常常要求晶圆重入，原子层沉积加工（ALD）就是典型的晶圆加工过程。对这样的系统实施调度是一个挑战......

随着半导体制造晶圆直径变得越来越大,加工工艺变得越来越复杂。由于有利于提高产量,降低成本和提高质量,大直径的晶圆越来越多地......

近年来半导体制造业在全球范围发展迅速。但是半导体极其复杂的制造过程导致了较高的行业壁垒和制造成本。制造过程中需要牵涉到上......