【摘 要】
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提出了-种离子束刻蚀制备线性渐变滤光片（LVOF）的方法.离子束刻蚀过程中,通过在样片和离子束出射窗口之间加入开有三角形透射窗口的挡板以及样片水平方向多次来回运动完成楔形
【机 构】
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上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海理工大学光电信息与计算机工程学院
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提出了-种离子束刻蚀制备线性渐变滤光片（LVOF）的方法.离子束刻蚀过程中,通过在样片和离子束出射窗口之间加入开有三角形透射窗口的挡板以及样片水平方向多次来回运动完成楔形谐振腔层制备,配合离子束辅助反应电子束真空镀膜技术,完成线性渐变滤光片的制作.设计三组不同刻蚀次数的制作实验,制作出了工作波长为500-580 nm、线色散系数为1. 03 nm . mm^-1的线性渐变滤光片.实验结果表明,通过调节样品台运动速率或者刻蚀次数,能够制备出具有预期楔角谐振腔层的线性渐变滤光片.
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