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利用中频脉冲磁控溅射工艺制备了低阻高透过率的ZAO薄膜，用湿法腐蚀的方法将制备的平面ZAO薄膜在0．5％的稀盐酸中浸泡一定时间得到绒面ZA0薄膜。研究了氧流量对腐蚀后薄膜表面形貌的影响。结果表明，随着氧流量的增大腐蚀后薄膜的表面形貌由花瓣状逐渐为适合太阳电池的陨石坑状，在氧流量为3．6sc-cm时（氩流量为12sccm）得到最好的绒面ZAO薄膜，继续增加氧流量，薄膜开始变得粗糙，说明薄膜的表面形貌又变差。