纳米级压电微动台的设计研究

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提出了一种新颖的“推-拉”接力运动原理,并将其应用于纳米级步距压电微动台的设计中。该原理变传统的单驱动器结构为双驱动器结构,避免了运动过程中的悬空状态,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台能够实现连续、平稳的运动。根据使用要求设计了驱动控制系统,通过C8051F单片机产生四路驱动信号,以保证压电微动台在不同频率和电压下进行工作,并实现了整个系统的闭环控制。
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