【摘 要】
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本文描述硅光波导技术的重大突破：（１）用ＳＩＭＯＳ技术代替传统的硅外光波导，解决了衬底吸收光波，从而显著改善了光波导的传播损耗，（２）在理论及实验上均已解决用调整脊形的高宽比（高宽均能达１０微米左
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本文描述硅光波导技术的重大突破：（１）用ＳＩＭＯＳ技术代替传统的硅外光波导，解决了衬底吸收光波，从而显著改善了光波导的传播损耗，（２）在理论及实验上均已解决用调整脊形的高宽比（高宽均能达１０微米左右），制取单模脊形光波导，这种光波导的下覆盖层是ＳｉＯ２，传播损耗小；断面积小，和单模光纤耦合良好，满足了光集成技术中对光波导的几项重要要求。
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