【摘 要】
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<正>目前,国内外生产的X射线荧光测厚仪性能主要取决于准直器和探测器,毛细管加上SDD硅漂移探测器是最好的结构组合,而且业内的毛细管荧光测厚仪也都全部使用SDD硅漂移探测器
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<正>目前,国内外生产的X射线荧光测厚仪性能主要取决于准直器和探测器,毛细管加上SDD硅漂移探测器是最好的结构组合,而且业内的毛细管荧光测厚仪也都全部使用SDD硅漂移探测器。这里选取了两台行业内知名的品牌进行比较,参与比较的机型1由4准直器和Si-PIN探测器组成,机型2由毛细管和SDD硅漂移探测器组成。一、测量范围测量样品1是标准厚度为0.046μm的Au薄片。
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