溶胶-凝胶提拉法制备MgcNi1-xO薄膜与表征

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yp7611

【摘要】

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利用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上制备出吸收边波长位于地球表面太阳光谱日盲区(240～280nm)内的MgxNi1-xO薄膜．XPS和XRD结果显示，MgxNi1-xO在1000℃下形成具有立方结构的固

【作者】

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何作鹏季振国杜娟王玮范镓叶志镇

【机构】

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浙江大学硅材料国家重点实验室

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2005年4期

【关键词】

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氧化镍日盲紫外探测能带调节 Mg_xNi_1-xO films solar-blind UV detection band-gap tuning

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展规划(批准号:G200068306),,国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA3A19),,浙江省分析测试基金(批准号:03103)资助项目~~

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利用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上制备出吸收边波长位于地球表面太阳光谱日盲区(240～280nm)内的MgxNi1-xO薄膜．XPS和XRD结果显示，MgxNi1-xO在1000℃下形成具有立方结构的固溶体；紫外-可见吸收谱结果表明，MgxNi1-xO吸收边随着Mg含量的变化而发生改变，当Mg含量．／7在0．2～0．3之间时，薄膜的吸收边波长在248-276nm范围内可调；光电响应测试结果表明，MgxNi1-xO薄膜(x=0．3)对太阳光不敏感，而对波长为254nm的紫外光具有很好的光电导特性，光照前后

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