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本文报道了大面积、小尺寸硅尖锥场发射体阵列的制作工艺及性能测试,表明硅冷阴极阵列在平板显示器件、敏感器件等方面具有广泛应用前景.
硅尖场发射冷阴极阵列的研制及性能研究
【摘 要】
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本文报道了大面积、小尺寸硅尖锥场发射体阵列的制作工艺及性能测试,表明硅冷阴极阵列在平板显示器件、敏感器件等方面具有广泛应用前景.
【机 构】
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西安电子科技大学物理系,骊山微电子研究所
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1992年S1期
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