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利用MNDO方法和模型硅晶体计算了硅中氢分子和空位型缺陷问的相互作用能.得到了晶体硅中氢分子和空位型缺陷倾向于相互结合,含氢空位型缺陷可成为硅中氢和空位聚集的核心的结论.
硅中氢分子和空位型缺陷间的相互作用
【摘 要】
：
利用MNDO方法和模型硅晶体计算了硅中氢分子和空位型缺陷问的相互作用能.得到了晶体硅中氢分子和空位型缺陷倾向于相互结合,含氢空位型缺陷可成为硅中氢和空位聚集的核心的结
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所上海,上海
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
：
1989年7期
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