【摘 要】
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利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）在316L不锈钢表面分别制备了（110）择优取向和随机取向的氧化铬涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射分析（XRD）分别对涂层的显微结构和相结构进
【机 构】
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北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所,俄罗斯国家研究中心库尔恰托夫研究所,俄科院西伯利亚分院尼古拉耶夫无机化学研究院,
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利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）在316L不锈钢表面分别制备了（110）择优取向和随机取向的氧化铬涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射分析（XRD）分别对涂层的显微结构和相结构进行了表征。采用气相氘渗透方法对涂层的氢渗透性能进行测试。结果表明,择优取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=4.58×10-6exp（-112688/RT）(mol·m-1·s-1·Pa0.5),而随机取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=1.20×10-5exp（-102057/RT）(mol·m-1·s-1·Pa0.5)。在873,923,973 K时,择优取向涂层的氢渗透阻挡因子（PRF）分别为38.2,21.1和13.1,而随机取向涂层的PRF仅为2.6,1.9和1.5。对涂层显微结构的分析表明,择优取向的氧化铬涂层晶粒规则排列,易于得到结构致密的涂层;而随机取向的涂层,晶粒排列杂乱无序,易在涂层中产生通孔等缺陷,使得涂层的氢渗透性能出现大幅降低。
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